微区薄层电阻四探针测试仪及其应用

摘要：

用斜置的四探针方法,依靠显微镜观察,将针尖置于微区图形的四个角区,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻.文中对测准条件作了分析.并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布.在测试过程中应用微处理器,加快了计算速度.

关键词：微区薄层电阻、探针技术、改进范德堡法

所属期刊栏目：22

分类号：TN307(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金69272001;天津市技术监督局资助项目;天津市技术监督局资助项目1997;河北省自然科学基金

在线出版日期：2004-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：93-99