硅各向异性腐蚀速率图的模拟

摘要：

利用数学软件MATLAB,对三维中的向量进行插值计算.根据硅各向异性腐蚀特点,构造出了一个完整的硅各向异性腐蚀速率图.模拟结果与已有的实验数据进行了比较,说明这种方法可以用来模拟硅各向异性腐蚀速率.

关键词：硅、腐蚀速率、各向异性腐蚀、MATLAB

所属期刊栏目：22

分类号：TN402;TN405(微电子学、集成电路（IC）)

资助基金：教育部科学技术基金00065

在线出版日期：2004-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：89-92