高灵敏度微机械薄膜的设计、模拟与优化

摘要：

许多高性能微传感器和微执行器的实现都离不开高灵敏度的薄膜.使用微机械加工方法制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力.残余应力极大地降低了膜的机械灵敏度.文中提出的纹膜结构,可在不改变工艺条件的前提下,显著地降低残余应力的不良影响,大幅度增加膜的灵敏度.理论分析的结果表明,纹膜几何参数的设计是提高灵敏度的

关键词：微机械、残余应力、灵敏度、纹膜、有限元分析

所属期刊栏目：22

分类号：TN403;TP212(微电子学、集成电路（IC）)

在线出版日期：2004-01-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：82-88