CaF2晶体(111)晶面腐蚀坑的动态演变行为与运动学特性

摘要：

CaF2晶体在光刻机中应用成为国内外研究的热点,而晶体中存在各种缺陷严重制约其实际性能.本文跟踪观察了CaF2 晶体(111)晶面形成的腐蚀坑的形貌特征和空间延伸特性,并分析了各种腐蚀坑所对应的缺陷特性,是实现对晶体缺陷精确表征与控制的前提.研究表明:CaF2 晶体(111)晶面的腐蚀坑具有三角锥形坑、锥形-平底坑、平底坑 3 种类型.三角锥形坑与锥形-平底坑具有定向移动特性,这表明这类腐蚀坑所对应的缺陷与材料的位错相关,其中:三角锥形坑的坑尖又有 3 种不同的精细结构,因此所对应的位错至少有 3 种晶体学走向;而平底坑没有观测到具有空间延伸特性,是缺陷被完全腐蚀后留下的尸体残余,其所对应的缺陷可能是杂质、空位、小的位错环等.通过实时追踪腐蚀坑的演化过程,获得腐蚀坑形成过程的物理参数,建立蚀坑的运动学模型,这也为进一步研究晶体材料的腐蚀理论提供基础.

关键词：氟化钙晶体、(111)晶面、缺陷、位错、腐蚀坑

所属期刊栏目：51

分类号：TQ172.75

资助基金：国家重点研发计划;中科院稳定支持基础研究领域青年团队项目;国家自然科学基金;国家自然科学基金;上海市科委项目;上海市科委项目;上海市科委项目

在线出版日期：2023-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共9页

页码：1381-1389