ZnTe晶体中夹杂相的退火调控与结晶质量提升

摘要：

太赫兹技术的不断发展和在各个领域的进一步应用,对碲化锌(ZnTe)电光晶体提出越来越高的要求.采用Te溶剂法生长碲化锌晶体,可以有效降低晶体的生长温度,但不可避免的会引入Te夹杂相,进而影响其结晶质量.本工作提出利用Zn气氛等温退火和梯度退火2种方法,在不同退火温度下成功消除了 ZnTe晶体内部尺寸小于10μm的Te夹杂相,发现夹杂相去除效率与退火温度和梯度密切相关.经过650℃,100h的梯度退火后,Te夹杂相去除效率可达83％.Zn气氛退火后,晶体内部出现VTe-Tei复合缺陷,表明退火中存在扩散导致的缺陷反应,对晶体的结晶质量和光学性能产生影响.通过对退火前后晶体的X射线摇摆曲线衍射峰的研究,发现去除Te夹杂后晶体结晶质量总体提高,证明Te夹杂相是左右ZnTe晶体结晶质量的主要结构缺陷.

关键词：碲化锌、碲夹杂相、梯度退火、结晶质量

所属期刊栏目：50

分类号：TN304(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金;国家自然科学基金;陕西省自然科学基金;陕西省重点研发计划;中央高校基础研究经费

在线出版日期：2023-02-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共8页

页码：3276-3283