含氢四面体非晶碳膜的制备与结构及力学性能

摘要：

采用化学气相沉积法制备具有优异力学性能的含氢四面体非晶碳膜有望满足工业应用的要求.通过自主设计的等离子体增强化学气相沉积实验系统制备含氢四面体非晶碳膜,并对其微观结构与力学性能进行研究.随着偏压从-200 V增加到-500 V,薄膜硬度和弹性模量先增加后减少,最大达到34.0 GPa和282.0 GPa.压应力随着偏压的变化表现出相同的变化趋势.与传统等离子体增强化学气相沉积方法相比,自主设计的等离子体增强化学气相沉积系统制备的碳膜硬度和弹性模量明显提升,碳膜sp3含量(摩尔分数)超过62.3％,制备出的碳膜具有典型的含氢四面体非晶碳膜特征,而非含氢碳膜,主要是由于水冷射频双螺旋电极与平板电极结合增强了粒子的轰击和离化率,提高了薄膜sp3含量.这为在工业中应用制备高硬度和弹性模量的含氢四面体非晶碳膜提供了可能.

关键词：含氢四面体非晶碳膜、力学性能、等离子增强化学气相沉积、微观结构

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分类号：TQ171

资助基金：甘肃省科技计划项目;甘肃省高等学校创新能力提升项目;甘肃省高等学校创新能力提升项目;甘肃省高等学校创新能力提升项目

在线出版日期：2023-02-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：2651-2656