碳源入射角对超薄四面体非晶碳膜结构和性能的影响

摘要：

利用45°双弯曲磁过滤阴极真空电弧技术制备超薄四面体非晶碳膜,研究碳源入射角变化对超薄四面体非晶碳膜润湿性、表面能、粗糙度、表面形貌、摩擦系数和微观结构的影响以及它们之间的构效关系.结果表明:碳源入射角从0°增加到60°,薄膜与水的接触角由77.6°小幅增加到了82.4°,与甘油的接触角由64.7°小幅增加到71.2°,表现出亲水性.薄膜总的表面能由33.9 mJ/m2降低到28.0 mJ/m2,薄膜接触角的小幅增大归因于材料表面能的降低和表面粗糙度的增加.同时薄膜平均摩擦系数由0.140增加到0.217.碳的近边结构吸收谱表明,随着碳源入射角从0°增加到60°,薄膜sp3含量没有发生明显变化.

关键词：四面体非晶碳膜、碳源入射角、微观结构、润湿性、表面形貌

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分类号：O436(光学)

资助基金：甘肃省高等学校科研项目;酒泉市科技支撑计划项目

在线出版日期：2022-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1385-1390