过渡层Cr/Cr-Si中Si含量对不锈钢表面生长金刚石薄膜的影响

摘要：

为了在不锈钢表面制备出高结合力的致密金刚石薄膜,采用磁控溅射制备了不同Si含量Cr/Cr-Si薄膜为过渡层,采用热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和Raman光谱等手段进行分析.结果表明,Si含量为12.7％(摩尔分数)时,Cr-Si层由Cr(Si)固溶体组成,Fe原子向外扩散速率降低,金刚石薄膜致密且与不锈钢之间的附着力优异.

关键词：金刚石薄膜、不锈钢、过渡层、铬-硅

所属期刊栏目：48

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：浙江省自然科学基金项目LY18E020013;国家自然科学基金重点项目U1809210;国际科技合作项目2014DFR51160;国家重点研发计划中欧国际合作项目2016YFE0133200;欧盟地平线2020研究与创新人员交流计划734578;浙江省重点研究发展计划一带一路国际合作项目2018C04021;国家自然科学基金51575491

在线出版日期：2020-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：608-614