TiO2-SiO2/SiO2双层复合薄膜制备及折射率调控

摘要：

采用溶胶-凝胶法制备了具有W型减反特性的TiO2-SiO2/SiO2复合薄膜,并分别调控了TiO2及TiO2-SiO2混合介质薄膜折射率,探索了不同制备条件对TiO2薄膜折射率的影响机理.通过场发射扫描电子显微镜、能谱仪、椭偏仪、紫外-可见-红外分光光度计研究了薄膜微观结构、薄膜组分、折射率和光学透过率,通过TFcal软件模拟了双层复合薄膜的光学透过率线型.研究表明:溶胶pH值对TiO2薄膜折射率影响显著,其影响的前驱体水解速率对折射率的影响占主要作用,并且随着pH值的增大薄膜折射率减小,而水/钛比对薄膜折射率影响不显著.在TiO2与SiO2混合溶胶中两者物质的量比为1.2∶1.0时,获得可用于制备双层复合W型减反膜系底层的薄膜,其椭偏仪拟合测试折射率约为1.68.最终制备的复合TiO2-SiO2/SiO2薄膜实现了光学宽谱范围380～1100 nm的优良增透效果,最大透过率可达约97％.

关键词：减反膜、折射率、光学透过率、W型减反特性

所属期刊栏目：48

分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：安徽省科技重大专项17030901085;安徽省重点研究与开发计划1804a09020061

在线出版日期：2020-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：470-476