研磨液在氧化镓晶体研磨中的作用

摘要：

氧化镓晶体易解理,严重阻碍了研磨过程中晶体表面质量的提升.根据摩擦学原理建立边界润滑磨损模型,探索了不同研磨液在研磨过程中的作用机理.针对晶体的解理特性,依据理论模型依次采用水、油作为研磨液对氧化镓进行加工实验研究.结果表明:首先水磨,晶体表面由粗研磨产生的解理现象得到有效抑制,表面粗糙度Ra由粗研磨后的325 nm降至70 nm;然后油磨,晶体表面的微解理缺陷逐步消失,表面粗糙度Ra由水磨后的70 nm降至24 nm.该研究为易解理晶体的精研磨提供有益参考.

关键词：氧化镓晶体、研磨、研磨液、晶体解理

所属期刊栏目：47

分类号：O786;TN305.2(晶体生长)

资助基金：国家自然科学基金项目51675457;江苏省产学研前瞻性创新资金项目BY2016065-55

在线出版日期：2019-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：43-47