线性离子源对玻璃基片的表面改性

摘要：

采用阳极层线性离子源分别解离Ar气与O2气,对玻璃基片表面进行清洗处理,分析离子束清洗前后玻璃表面的变化,以及气体种类与电源电压对玻璃表面改性的影响.结果表明,离子束对玻璃表面产生显著的刻蚀作用,其中O离子束的刻蚀速率小于Ar,且刻蚀速率随电源电压的升高而增大.椭偏测试结果表明,离子束轰击增大了玻璃的Brewster角,并改变了Brewster角附近的椭圆偏振光谱形貌.通过建模分析发现,这是由于离子束使玻璃表面生成光密介质层,使表面折射率增大所致.

关键词：玻璃、Brewster角、表面改性、折射率、线性离子源

所属期刊栏目：43

分类号：TN305.8;TQ171.6+5(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金项目51272245;“十二五”国家科技支撑计划项目2013BAE12B01

在线出版日期：2015-12-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1561-1566