甲基三乙氧基硅烷对多孔二氧化硅反射膜结构和性能的影响

摘要：

以TEOS(硅酸乙酯)为前驱体,MTES(甲基三乙氧基硅烷)为有机改性剂,Triton(R)X-100为模板剂,用酸催化溶胶-凝胶法制备了多孔二氧化硅增透膜.探讨了不同量的MTES对薄膜结构和性能的影响.结果表明:随着MTES用量的增加,减反射膜的疏水性增大,接触角由11°增加到93°,当MTES含量较低时(MTES与TEOS摩尔比0∶1),减反膜中孔结构的孔径大部分在20～30 nm,当MTES与TEOS摩尔比为1∶2时,20～30 nm孔径的孔结构比例增加,并出现孔径为30～40 nm的孔结构分布峰,当MTES含量进一步增加(MTES与TEOS摩尔比2∶1时),20～30 nm孔径的孔结构进一步增加,30～40 nm孔径的孔结构含量下降.减反膜抗凝聚性能先增强后减弱,MTES与TEOS的摩尔比从0增加到1∶2时,透过率变化量由2.1％减小0.12％,当MTES进一步增加(MTES/TEOS比=2∶1)时,减反膜透过率变化量又增加到0.34％.与涂层表面的疏水性相比,MTES的含量引起的涂层内部的孔结构大小变化对减反射涂层的抗冷凝性能影响更大,当MTES与TEOS的摩尔比为1∶2时,涂层达到最佳性能:透过率为5.58％,耐磨性能为0.25％,抗冷凝性能为0.12％.

关键词：硅酸乙酯、甲基三乙氧基硅烷、二氧化硅、多孔减反射膜、抗凝聚性能

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分类号：TB321(工程材料学)

资助基金：浙江省教育厅项目Y201122694;浙江省博后基金Bsh1201017;中央高校基本科研业务专项基金2014QN81006

在线出版日期：2015-06-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：705-708