氧化铝陶瓷表面化学气相沉积钛涂层的制备及性能

摘要：

利用卤化物还原原理,以Ti粉和I2粉为反应原料,通过化学气相沉积的方法在Al2 O3陶瓷基体上制备了金属Ti涂层.考察了原料配比、加热温度及保温时间等工艺参数对涂层沉积的影响.通过X射线衍射仪分析了涂层的物相组成.利用扫描电子显微镜及能谱仪对涂层的微观组织形貌及成分进行了分析.采用座滴法考察铜与沉积了涂层的氧化铝陶瓷间的润湿性.研究结果表明,化学气相沉积法在氧化铝陶瓷表面制备Ti涂层的适宜工艺参数为:Ti与I2的质量比=1∶3,沉积温度为1 100℃,沉积时间为60 min.所获得的Ti涂层纯度较高,具有明显的(110)晶面择优取向性,涂层与陶瓷结合良好.铜与涂层间的润湿角在1 113℃时为57°.

关键词：化学气相沉积、氧化铝、钛涂层

所属期刊栏目：42

分类号：TB333(工程材料学)

资助基金：陕西省自然科学基金2009JM6004;西安交通大学金属材料强度国家重点实验室开放研究项目20121208

在线出版日期：2014-09-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：836-840