锆钛酸铅厚膜驱动高机械品质因数微悬臂梁的制作与性能

摘要：

采用溶胶-凝胶法与体硅微加工相结合的技术制作了2.Smm厚锆钛酸铅(Lead zirconate titanate,PZT)厚膜驱动的微悬臂梁.测试结果表明:该微悬臂梁的第一阶谐振频率约为199.63 kHz,与理论计算结果非常吻合;在大气压强下测得的机械品质因数(Q值)可高达799.通过能量损耗机制分析认为:该PZT厚膜比薄膜有效弹性模量更大并且具有趋向于“硬”性压电材料的性质,因此有利于微悬臂梁Q值的增强.

关键词：锆钛酸铅、微悬臂梁、机械品质因数、厚膜

所属期刊栏目：42

分类号：TQ174

资助基金：国家“863”项目2007AA03Z103;国家自然科学基金51305005,51375016;北京市自然基金项目3122013;北京市科技计划项目KM201210009004

在线出版日期：2014-05-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：65-69