氧分压对室温制备掺铝氧化锌薄膜性能的影响

摘要：

室温下，采用脉冲直流反应磁控溅射方法在玻璃衬底上制备了掺铝的氧化锌(ZnO：Al, AZO)透明导电薄膜。采用配有λ-sensor氧分压传感器的控制器闭环控制氧分压，研究了氧分压对薄膜结构、表面形貌和光电性能的影响。结果表明：在不同的氧分压下制备的AZO薄膜均为多晶纤锌矿结构，具有[002]择优取向，其晶体呈柱状生长，晶粒之间结合紧密。氧分压为3.36×10-2 Pa时，AZO薄膜的性能指数最高，其电阻率为1.15×10-3?·cm，相应的载流子浓度为2.1×1020/cm3，载流子迁移率为25.8 cm2/(V?s)，可见光透射率为79.1%。随着AZO薄膜的载流子浓度由1.03×1020 cm-3增加到3.64×1020 cm-3，薄膜禁带宽度由3.49 eV增大到3.72 eV。

关键词：掺铝的氧化锌、反应磁控溅射、氧分压、透明导电薄膜

分类号：TB383(工程材料学)

资助基金：十二五国家科技支撑计划2011BAE14B01资助项目。

在线出版日期：2013-09-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1251-1257