SnO2：Sb透明导电薄膜的制备及光电性能

摘要：

采用溶胶–凝胶法在玻璃基底上制备了Sb掺杂SnO2（SnO2：Sb）透明导电薄膜。研究了Sb掺杂量、镀膜次数、热处理温度对SnO2：Sb薄膜结构和光电性能的影响,利用X射线衍射仪、Fourier变换红外光谱仪、扫描电子显微镜、四探针电阻仪、分光光度计对薄膜样品进行表征。结果表明：SnO2：Sb薄膜为四方相金红石结构;薄膜结构平整、致密,膜厚与镀膜次数基本成线性关系;在Sb掺杂量为10%,镀膜8次的条件下,薄膜具有最佳的光电性能,方块电阻达105/□;在玻璃上镀SnO2：Sb薄膜后,近红外波段透过率下降显著,由90%降到5.5%,在可见光波段略有降低,仍保持了较高透过率。

关键词：溶胶—凝胶、锑掺杂、薄膜、光电性能

所属期刊栏目：40

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：吉林省教育厅科技计划项目200826

在线出版日期：2012-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：945-950