大颗粒超高纯度硅溶胶的制备及其表征（英文）

摘要：

采用新工艺路线制备四乙氧基硅烷（tetraethoxysilane,TEOS）,以TEOS为原料制备超纯度大颗粒硅溶胶。TEOS是烷氧基硅烷法制备甲硅烷的副产物,经过精馏提纯以后,加入盐酸或氨水催化剂,采用溶胶-凝胶法制备硅溶胶。结果表明：TEOS和硅溶胶金属杂质离子总含量都低于0.3mg/L。用盐酸催化TEOS水解制备溶胶,胶粒直径达到129nm;用氨水催化,胶粒直径达272nm。当物质的量比n（C2H5OH）/n（TEOS）=6,n（H2O）/n（TEOS）=5,搅拌速度为250 r/min,制备的硅溶胶胶粒均匀度最好。加水不搅拌,胶粒很容易发生团聚,但是,当搅拌速率高于500 r/min时,胶粒出现团聚现象。

关键词：四乙氧基硅烷、超高纯度硅溶胶、大颗粒、硅溶胶的表征

所属期刊栏目：40

分类号：TQ174

资助基金：国家"863"计划2006BAE01B09

在线出版日期：2012-05-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：108-115