超声喷雾热分解法制备硅薄膜太阳电池用ZnO：In透明导电膜

摘要：

采用超声喷雾热分解法,在Eagle2000衬底上制备ZnO薄膜。通过Hall测试、X射线衍射、扫描电子显微镜和透过率测试研究不同In掺量对ZnO薄膜电学、结构、表面形貌和光学特性的影响。结果表明：当In摩尔掺量（In与ZnO的摩尔比）为1.5%时,获得的薄膜具有较低的电阻率（2.48×10–3cm）;所有In掺杂ZnO薄膜的透过率均达到80%;将ZnO：In薄膜作为前电极应用于μc-Si：H薄膜太阳电池,可以获得5.01%的转换效率。

关键词：氧化锌薄膜、透明导电薄膜、超声喷雾热分解法、铟掺杂、太阳电池

所属期刊栏目：39

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：国家高技术研究发展规划2007AA052436;2009AA050602;天津科技支撑08ZCKFGX03500;国家重点基础研究发展规划2011CB201605;2011CB201606;国家自然科学基金60976051;科技部国际合作重点2006DFA62390;2009DFA-62580;教育部新世纪人才NCET-08-0295

在线出版日期：2012-04-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：2008-2012