四甲基氢氧化铵应用于单晶硅高效制绒

摘要：

以十二烷基硫酸钠(sodium dodecyl sulfate,SDS)或Na2SiO3作为表面活性剂,用四甲基氢氧化铵(tetramethylammonium hydroxide,TMAH)/异丙醇(isopropyl alcohol,IPA)作为腐蚀剂代替传统的NaOH/IPA腐蚀剂制备单晶硅绒面.研究去除硅表面的切割损伤层、溶液中的TMAH含量、腐蚀时间和温度,以及加入SDS对绒面的影响.结果表明:制绒前对硅片的清洗和去损伤层不利于高效率制绒;硅片在含有2%(质量分数,下同)TMAH/5%IPA的腐蚀液,80℃恒温腐蚀10min即可制备均匀的具有金字塔结构的减反射绒面;腐蚀液中加入硅酸钠和SDS可以减小金字塔尺寸,降低表面反射率,提高绒面的质量.

关键词：四甲基氢氧化铵、各向异性腐蚀、太阳能电池、硅制绒

所属期刊栏目：39

分类号：TK514(特殊热能及其机械)

资助基金：教育部留学回国人员科研启动基金教外司留[2008]890

在线出版日期：2011-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：863-867