不同层Cu/ZrW2O8梯度薄膜的制备和性能

摘要：

采用ZrO2、WO3复合氧化物和Cu靶材,利用磁控溅射法,通过改变溅射功率在单晶硅基片上分别制备1、3、5层Cu/ZrW2O8复合薄膜.通过X射线衍射、扫描电镜和原子力显微镜表征不同层薄膜的物相组成和表面形貌:采用划痕仪和应力测试仪分别测量薄膜的结合力和热应力.结果表明:未退火处理的薄膜为非晶态钨酸锆和铜的复合薄膜:在Ar2气氛中750℃退火处理3 min后的薄膜结晶度良好;5层膜中首次出现棒状ZrW2O8晶粒,且5层膜的表面和三维形貌最佳,膜基结合力最大,缓和热应力效果最好.

关键词：梯度薄膜、磁控溅射、铜、钨酸锫、热应力

所属期刊栏目：39

分类号：O482.3(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金50772044;教育部高等学校博士点基金200802990001;江苏省自然基金BK2008224;江苏省高校自然科学重大基础研究09KJA430001;江苏省青蓝工程资助项目

在线出版日期：2011-07-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：836-842