溶胶-凝胶法制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3成分梯度薄膜的介电性能

摘要：

采用溶胶-凝胶法在Pt(111)/Ti/SiO2/Si衬底上制备Ba0.90Sr0.10ZrxTi1-xO3(BSZT)(x=0～0.40)组分及其成分梯度薄膜,研究各组分及梯度薄膜的相结构、显微结构及其介电性能.结果表明:随着Zr含量的增加,组分BSZT薄膜的相对介电常数(εr)和介电损耗(tanδ)降低,Curie温度向低温方向移动.与单相薄膜相比,成分梯度薄膜同时具有适中的相对介电常数(150εr300),低的介电损耗(tanδ0.014).高的材料优值(30)及良好的温度稳定性.

关键词：锆钛酸锶钡、梯度薄膜、介电性能、温度稳定性、溶胶-凝胶

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分类号：TB34(工程材料学)

资助基金：高等学校博士学科点专项科研基金20060247003;上海市科学技术委员会07DZ22302

在线出版日期：2011-03-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：2268-2274