蓝宝石衬底上透明MgxZn1-xO薄膜的制备及表征

摘要：

采用射频磁控溅射法在Al2O3(001)衬底上制备了高Mg含量的MgxZn1-xO薄膜,研究了MgxZn1-xO薄膜的结构和光学性能.结果表明:Al2O3(001)衬底上MgxZn1-xO薄膜的组分为Mg0.47Zn0.53O,薄膜呈六方纤锌矿结构,薄膜沿c轴方向取向生长,且c轴方向晶格增大0.002 9 nm.薄膜的吸收边峰值位于292nm,对应的禁带宽度为4.24eV.薄膜平均粒径约为10～20nm,在深紫外-可见光激发下的荧光发射峰分别位于320nm和400nm附近.

关键词：氧化锌镁、射频磁控溅射、蓝宝石衬底、透明薄膜

所属期刊栏目：38

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金50772016

在线出版日期：2011-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2105-2109