溶胶-凝胶SiO2减反膜的表面修饰和抗污染特性

摘要：

采用溶胶-凝胶法制备了用于高功率激光装置的SiO2减反射膜,并在室温条件下采用气相法对该薄膜进行表面修饰.结果表明:修饰后薄膜的疏水性能、激光损伤阈值均有明显提高:其在大气环境下的耐候性与普通薄膜相当,但对有机污染物的抗性明显提高;经六甲基二硅胺烷修饰、氨气氛及热处理后的薄膜表现出对有机烷类良好的抗污染性能.

关键词：溶胶-凝胶、二氧化硅减反薄膜、表面修饰、抗污染性、硅烷化

所属期刊栏目：38

分类号：O484.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金11074189,50802064,50752001;国家科技支撑计划2009BAC62B02;国家"863"计划;上海市科委09520714300,10520706800,0952nm00700

在线出版日期：2011-01-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：2054-2058