溶胶-凝胶法制备LaP-5O-14粉体

摘要：

以La2O3,HNO3和H3PO4为原料,采用溶胶-凝胶法制备了LaP5O14粉体。用热重-差示扫描量热仪,X射线衍射和扫描电子显微镜研究了原料的组成以及热处理工艺等因素对煅烧后粉体的组成、微观形貌和性能的影响,探讨了LaP5O14粉体的合成机理。结果表明：当La2O3与H3PO4摩尔比为1：5时制备的凝胶,在800℃煅烧5h后,制得主晶相为柱状结构的LaP5O14粉体,该粉体的粒径约10μm。LaP5O14粉体以LaPO4为前驱体在煅烧过程中通过P2O5的蒸发凝聚机理形成。该粉体能够在850℃分解并均匀释放出P2O5,LaP5O14的质量损失与时间近似于线性关系,可用于制备硅晶片掺杂用磷扩散源片。

关键词：溶胶-凝胶、五聚磷酸镧、蒸发凝聚

分类号：TB321;TB34(工程材料学)

在线出版日期：2011-09-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：1553-1557