利用TeCl4非水解溶-凝胶法制备TeO2薄膜

摘要：

利用四氯化碲与乙醇反应生成前驱体氯代乙醇碲,采用非水解溶胶-凝胶法制备了TeO2凝胶薄膜,通过热处理获得非晶态TeO2薄膜.利用差热分析、X射线衍射和Fourier变换红外光谱等测试手段研究了非水解TeO2的溶胶-凝胶机制、物相变化、以及薄膜制备过程中的析晶现象.结果表明:四氯化碲可与乙醇发生部分亲核取代反应,在非水解溶胶-凝胶体系中生成了含桥氧、桥氯的Te-O-Te和Te-Cl-Te网络结构,凝胶薄膜在热处理过程中有机物碳化和Te-Cl结构的不稳定性易导致Te4+被还原,而对凝胶薄膜煅烧前在200℃进行预烧处理可抑制金属碲的析出,进而获得厚度约150nm、折射率为1.86的TeO2非晶薄膜.

关键词：二氧化碲、薄膜、溶胶-凝胶法、非水解

所属期刊栏目：37

分类号：TQ171.1

资助基金：上海市科学技术委员会纳米专项基金0852nm06500

在线出版日期：2009-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1689-1693