纳米氧化铝膜孔径可控性动力学模型及其生长规律

摘要：

采用新的二次阳极氧化工艺,制备了孔径为30～70nm的阳极氧化铝(anodizedAl2O3,AAO)膜.用扫描电镜和原子力显微镜观察了AAO膜孔洞的结构、形貌和它们的排列,发现制备的AAO铝膜的孔的纵横比大,孔分布有序,上下贯通,孔间相互平行,孔通道无交叉且有序.研究了电解液浓度、扩孔时间对膜孔半径的影响,建立了动力学模型,得出在一定时间内,孔径大小与电解液浓度之间呈对数关系,而与扩孔时间呈线性关系.根据电场理论,膜压应力值随扩孔时间增加趋向于表面张力值,当达到平衡后,膜孔孔径的大小随之确定.

关键词：氧化铝膜、电解液浓度、扩孔、动力学模型

所属期刊栏目：36

分类号：TQ132.2;TQ133.1

资助基金：国家自然科学基金10372087;湖南省科技厅科技计划03JZY1002

在线出版日期：2008-06-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：648-653