溶胶-凝胶法制备掺钙钛酸锶铋铁电薄膜

摘要：

利用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了CaxSr1-xBi4Ti4O15(CxS1-xBT,x=0～1)铁电薄膜.研究了不同Ca2取代量对薄膜的微观结构、取向生长、铁电性能以及介电性能的影响.结果表明:当Ca2+取代量为x=0.4时,C0.4S0.6BT铁电薄膜样品在一定程度上沿a轴择优取向;样品致密性较好,晶粒呈球型,且大小均匀,尺寸约为100nm.C0.4S0.6BT薄膜的剩余极化强度为8.37μC/cm2,矫顽场强为72kWcm;在1 Hz～1 MHz频率范围内,相对介电常数为234～219,介电损耗为0.009～0.073.

关键词：掺钙钛酸锶铋、溶胶-凝胶法、薄膜取向、铁电性能、介电性能

所属期刊栏目：36

分类号：TB43(工业通用技术与设备)

资助基金：国家自然科学基金60471042;山东教育厅重点03A02

在线出版日期：2008-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：237-241