基板温度对常压化学气相沉积法制备TiO2复合薄膜性能的影响

摘要：

以Ti(OC3H7)4为先驱体,SnO2:F镀膜玻璃为基板,采用常压化学气相沉积法制备了TiO2/SnO2:F复合薄膜.用扫描电镜、X射线衍射、紫外-可见-近红外透射光谱等手段对样品的物相和性能进行了研究.结果表明:金红石相的SnO2:F底膜促进了TiO2金红石相的形成;当基板温度为480 ℃时,TiO2/SnO2:F复合薄膜出现针状结构,但随着基板温度继续升高,针状结构消失.样品的可见光透过率随基板温度而变化,其值为60%～90%,基本满足建筑物的采光要求.当基板温度为530 ℃时,TiO2/SnO2:F复合薄膜的光催化性能最好.

关键词：二氧化钛、掺氟二氧化锡、常压化学气相沉积、节能、光催化性.

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分类号：TB321;TG146.4(工程材料学)

资助基金：教育部高等学校科技创新工程重大项目培育资助项目705026;国家自然科学基金5037206

在线出版日期：2007-12-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1520-1525