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10.3321/j.issn:0454-5648.2007.10.022

坩埚下降法生长铌酸锂晶体

引用
采用坩埚下降法,生长了直径为5 cm的铌酸锂晶体.探讨了晶体生长工艺条件,测试了晶体的透过光谱.所得晶体呈浅茶色,分析认为主要是氧空位缺陷所致.铌酸锂晶体通常用作声表面波(surface acoustic wave,SAW)器件的基片,氧空位缺陷可增加基片的电导率,减少器件制造过程中晶片开裂,有利于提高SAW器件成品率.

铌酸锂晶体、坩埚下降法、晶体生长

35

O782(晶体生长)

2007-12-03(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)

共4页

1387-1389,1395

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硅酸盐学报

0454-5648

11-2310/TQ

35

2007,35(10)

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