10.3321/j.issn:0454-5648.2007.04.004
用聚苯乙烯微球模板组装有序多孔氧化锌薄膜
在洁净的玻璃基片上通过浸提法组装了有序的聚苯乙烯微球(polystyrene spheres,PS)阵列模板.将PS模板再用浸提法垂直浸渍到ZnO溶胶中,在毛细管力的作用下ZnO溶胶进入到微球的间隙中形成凝胶,最后经煅烧除去PS模板而得到多孔ZnO薄膜.模板的反射光谱证实其堆积方式为面心立方结构.用扫描电镜观察了ZnO薄膜的表面形貌.用X射线衍射和紫外/可见光分光光度计对薄膜的性能进行了表征.结果表明:溶胶的浓度和PS模板在溶胶中的浸渍时间对薄膜的形貌有显著的影响,多孔薄膜孔径较微球直径收缩约30%.得到的ZnO薄膜经500℃煅烧后为六方纤锌矿结构,在波长大于550nm后其光谱透过率可达80%以上,禁带宽度约为3.22eV.
有序多孔氧化锌薄膜、聚苯乙烯微球模板、组装、两步浸提法、面心立方、禁带宽度
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TN304(半导体技术)
2007-05-21(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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