硒化锌晶体光学加工中的宏观应力

摘要：

采用化学-机械加工工艺加工ZnSe晶体器件.用X射线衍射分析技术测定晶体器件在加工过程中宏观应力的变化.结果表明:加工后器件的损伤层厚度接近为零.抛光后的器件和加工前的器件的宏观应力相近,表明用该工艺加工对器件的宏观应力影响小,这对器件的应用非常有利.加工实验表明:选用的工艺参数和抛光液对加工ZnSe晶体器件是成功的.

关键词：硒化锌晶体、宏观应力、光学加工、X射线衍射分析

所属期刊栏目：35

分类号：O736(晶体物理)

资助基金：兵器工业总公司资助项目GDZX2003

在线出版日期：2007-04-02（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：247-250