射频磁控溅射法在玻璃上制备紫外吸收和透明导电双功能薄膜

摘要：

制备了SnO2:Sb(6%,摩尔分数)靶材和一系列不同摩尔比的CeO2-TiO2靶材;以所制靶材用射频磁控溅射法在普通玻璃基片上沉积了CeO2-TiO2单层和CeO2-TiO2/SnO2:Sb双层薄膜.用紫外-可见光谱、Raman光谱、X射线光电子能谱和X射线衍射对CeO2-TiO2薄膜进行了表征.结果表明:在CeO2/TiO2摩尔比为0.5:0.5和0.6:0.4时沉积得到的CeO2-TiO2薄膜为非晶态结构,并具有高的紫外吸收(平均值＞99%)和高的可见光透过率(平均值＞80%).在CeO2-TiO2薄膜表面存在Ce4+,Ce3+和Ti4+.对CeO2-TiO2/SnO2:Sb双层薄膜,除具有高的紫外吸收(平均值＞99%)和可见光透过率(平均值＞75%)性能外,还具有导电性,方块电阻在80～90 Ω/口之间,电阻率在(3.2～3.6)×10-3Ω·cm之间.该双层镀膜玻璃具有截止紫外线和透明导电双功能.

关键词：铈钛混合氧化物/掺锑氧化锡薄膜、紫外线截止/透明导电玻璃、射频磁控溅射

所属期刊栏目：34

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：武汉理工大学校科研和教改项目

在线出版日期：2006-12-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1182-1186