纳米压痕法研究金刚石薄膜的力学性能

摘要：

用热丝化学气相沉积法在硅基体上制备了大面积硼掺杂金刚石薄膜,硼的浓度大约为2×1020/cm3.利用纳米压痕仪及其附件研究了薄膜和纳米划擦有关的力学性能.结果表明:薄膜具有较高的硬度,平均硬度约为30 GPa,弹性模量约为419 GPa;薄膜与基体的结合强度较高,薄膜发生剥落的第一次破坏力大约是4 N.比较而言,薄膜中心区域的硬度高于边缘,结合强度则相反.

关键词：金刚石薄膜、纳米压痕、纳米划擦、力学性能、热丝化学气相沉积法

所属期刊栏目：33

分类号：TQ161.8

资助基金：上海市环境保护局资助项目0123nm023

在线出版日期：2006-02-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1539-1543