类金刚石薄膜在模拟体液中的电化学阻抗

摘要：

利用双放电腔微波等离子体源全方位离子注入设备,分别采用等离子体增强化学气相沉积技术、等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术两种工艺对医用316L不锈钢进行类金刚石薄膜表面改性.利用电化学阻抗谱法考察了两种工艺制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的抗腐蚀性能.结果表明:与采用等离子体增强化学气相沉积技术制备的类金刚石薄膜相比,在72 h的浸泡时间内,采用等离子体源离子注入和等离子体增强化学气相沉积复合技术制备的类金刚石薄膜防腐蚀性能明显增高,腐蚀阻抗较高,碳注入层可有效抑制溶液渗入薄膜和基体之间的界面,起到了腐蚀防护层的作用.动电位极化测试表明:采用复合技术制备的类金刚石薄膜在模拟体液中的腐蚀倾向性更低,钝态稳定性更好.

关键词：类金刚石薄膜、电化学阻抗谱、模拟体液、等离子体源离子注入、等离子体增强化学气相沉积

所属期刊栏目：33

分类号：TG174.445;TG174.3+6(金属学与热处理)

资助基金：中国科学院资助项目50081001;高等学校博士学科点专项科研项目20010141003;国家科技攻关项目2002AA326010;大连理工大学校科研和教改项目

在线出版日期：2005-12-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：1314-1320