SrBi4Ti4O15薄膜的溶胶凝胶制备及其生长行为

摘要：

以氯化锶、硝酸铋和钛酸丁酯为原料,柠檬酸为络合剂,配制了稳定的SrBi4Ti4O15(SBTi)前驱液.采用层层快速退火工艺,在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备了a轴取向增强的SBTi铁电薄膜,通过场发射扫描电镜、环境扫描电镜及X射线衍射等微观分析手段研究了保温时间和成膜次数对薄膜结晶性、微观结构和生长行为的影响.结果表明:层层快速退火工艺,可有效抑制焦绿石相的形成.随着退火时间的延长,薄膜的结晶性变好;但退火时间延长到30 min以上,薄膜的结晶性变差.由于SBTi晶体生长的各向异性及单层膜厚对晶体沿[119]方向生长的限制,随着涂覆次数的增加,SBTi薄膜(119)峰和(200)峰的强度逐渐增大,而(00l)峰的强度反而略有减少,从而使I(200)/I(119)、I(200)/I(0010)、I(119)/I(0010)逐渐增大.

关键词：铁电薄膜、钛酸锶铋、层层快速退火、生长行为

所属期刊栏目：33

分类号：O482.54;TM271.4(固体物理学)

资助基金：国家自然科学基金59995520;Nippon Sheet Glass Foundation for Materials Science and Engineering301-05544

在线出版日期：2005-11-03（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1054-1059