纳米压痕硬度尺寸效应的残余面积最大压深模型

摘要：

针对材料在纳米压痕硬度测试实验中出现的压痕尺寸效应,通过对单晶硅的纳米压痕实验,得到压痕的真实最大压深,再利用原子力显微镜获得压痕的三维形貌,并结合Matlab软件得到压痕的真实残余面积.以残余面积和最大压深为变量,提出了一种新的描述硬度压痕尺寸效应的模型--残余面积最大压深模型,此模型能更好地描述和理解纳米压痕硬度的尺寸效应.

关键词：压痕尺寸效应、残余面积最大压深模型、原子力显微镜、硬度、单晶硅

所属期刊栏目：33

分类号：TB302.3(工程材料学)

资助基金：国家自然科学基金59571263;教育部霍英东教育基金

在线出版日期：2005-09-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：817-821