镀SiO2膜玻璃基片上SnO2:Sb薄膜的溶胶-凝胶法制备及表征

摘要：

用溶胶-凝胶法在已镀SiO2膜的钠钙硅玻璃和没有镀SiO2的钠钙硅玻璃基片上镀制了锑掺杂摩尔分数为8.0%的二氧化锡薄膜.对不同热处理温度下薄膜样品的结构和性能进行了表征.结果表明:在673～823 K范围内热处理60 min时,薄膜以四方相金红石结构存在;随着热处理温度的提高,晶面衍射峰由宽化趋向尖锐,结晶逐渐完善;薄膜中的Sn以+4价的形式存在,掺杂的Sb以+5和+3价形式存在;当温度为673 K和723 K时,凝胶中的C没有完全燃尽,以C-O和C=O形式存在于薄膜中.镀膜样品的可见光平均透过率随热处理温度的升高而增大;在热处理温度相同时,预先镀有SiO2膜的玻璃基片上制备的锑掺杂二氧化锡(ATO)薄膜的方块电阻较没有镀SiO2的小.

关键词：锑掺杂二氧化锡薄膜、钠钙硅玻璃基片、热处理温度、溶胶-凝胶

所属期刊栏目：33

分类号：O614(无机化学)

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2002AA335030

在线出版日期：2005-07-21（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：553-558