电泳沉积法制备PZT厚膜及其性能

摘要：

用电泳沉积技术制备了约70μm的PZT[Pb(Zr0.52Ti0.48)O3]厚膜,分析了zeta电位、粘度及电泳沉积速率对PZT悬浮液的稳定性和电泳沉积质量的影响,并研究了烧结后PZT厚膜的结构和电学性能.实验结果表明:在pH=5.5～6.5时,悬浮液的zeta电位高达50 mV以上,此时悬浮液分散性好、粘度低,有最佳的沉积速率(≈31 mg·cm-2·min-1)和高达51%的相对沉积密度.在此条件下制备出的PZT膜厚均匀一致,无裂纹,经1 000℃保持30 min烧结后,在1 kHz下测量得PZT厚膜的介电常数为1 050,介电损耗约为0.05,饱和极化值为20μC/cm2,剩余极化值为12.9 μC/cm2,矫顽场强为10.5 kV/cm.

关键词：电泳沉积、锆钛酸铅厚膜、悬浮液、pH值、zeta电位

所属期刊栏目：32

分类号：O648;TQ15(物理化学（理论化学）、化学物理学)

资助基金：国家自然科学基金50076041

在线出版日期：2005-03-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1486-1490