喷雾热分解法制备掺杂SnO2电热薄膜及其电热性能

摘要：

以SnCl4·5H2O,SbCl3和ZnO为原料,采用喷雾热分解法在石英和陶瓷基材上制得了阻温特性良好的掺杂的SnO2导电发热薄膜.用X射线衍射,扫描电镜对薄膜进行了结构表征.研究了Sb,Zn的不同掺杂浓度及热处理温度对薄膜电阻特性的影响.实验结果表明:当三氯化锑和氧化锌掺量摩尔分数分别为8.2%和17%时,薄膜的方阻R□为32Ω/□.

关键词：氧化锡薄膜、喷雾热分解、电热特性

所属期刊栏目：32

分类号：O484(固体物理学)

资助基金：教育部重点科研项目02188;陕西省西安市科技局资助项目ZS200217

在线出版日期：2004-12-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1157-1160