不同先驱体溶胶-凝胶法制备的硫化锗玻璃薄膜

摘要：

分别使用氯化锗和正锗酸乙脂为溶胶凝胶先驱体,用2种不同的操作步骤制备溶胶,采用旋转涂膜技术在单晶硅片和玻璃基片上制备了硫化锗薄膜.对所获得的样品进行了X射线衍射、远红外和Raman光谱测试,并用扫描电镜观察薄膜形貌.结果表明:采用不同先驱体制备的溶胶-凝胶硫化锗玻璃薄膜其玻璃结构具有差异,并导致薄膜折射率的不同;由GeCl4所得玻璃薄膜为富锗相,其折射率约为2.8;而由Ge(OC2H5)4所得玻璃薄膜为富硫相,折射率约为2.2.

关键词：溶胶-凝胶、薄膜、硫化锗玻璃、玻璃结构

所属期刊栏目：32

分类号：TQ17

资助基金：宁波大学校科研和教改项目

在线出版日期：2004-09-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：1029-1032