硒化锌晶体加工工艺研究

摘要：

根据硒化锌(ZnSe)晶体材料的性能特点,在大量试验的基础上,探索出了一套实用的、行之有效的ZnSe晶体的整盘等厚加工工艺.加工中采用双氧水溶剂浸泡Al2O3抛光剂,软化了Al2O3磨料.结果表明:该工艺技术有效地提高了ZnSe晶体零件的表面光洁度,保证了同心度,对于实际生产有一定的推广应用价值.

关键词：硒化锌晶体、表面光洁度、晶体加工

所属期刊栏目：32

分类号：O736(晶体物理)

资助基金：兵器工业集团公司资助项目2003-1

在线出版日期：2004-07-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：612-615