化学溶液沉积法制备掺镧Bi2Ti2O7薄膜及其特性的研究

摘要：

采用化学溶液沉积法,在Si(100)衬底上制备了(Bi0.925La0.075)2Ti2O7薄膜.通过对其X射线衍射图谱分析表明:用一定量的La3+来代替部分Bi3+,提高了Bi2Ti2O7相薄膜的稳定性.研究发现:经过高温(850 ℃)退火处理后,该薄膜的结晶性和取向性都很好,[111]方向取向率为90%.根据XRD谱图中的 (444)衍射峰,计算出晶格常数a≈20.66(A).薄膜的电流-电压和电容-电压特性的测量结果表明,该薄膜具有良好的绝缘性和较高的介电常数.

关键词：掺镧钛酸铋、薄膜、化学溶液沉积法、X射线衍射

所属期刊栏目：32

分类号：O484.42(固体物理学)

资助基金：国家重点实验室基金04010125

在线出版日期：2004-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：251-254