金刚石/氧化锌透明异质结的研制

摘要：

利用化学气相沉积和磁控溅射方法制备了透明金刚石薄膜/氧化锌异质结.首先,在金刚石单晶表面外延生长1层透明p型半导体金刚石薄膜,然后在金刚石薄膜上利用反应磁控溅射方法制备出n型透明氧化锌半导体薄膜;进而利用溅射、光刻等方法制备出欧姆接触电极,获得了金刚石/氧化锌透明异质pn结.该结呈现典型的二极管伏安特性曲线,开启电压为1.0 V.在500～700 nm波长范围内,该结的透过率达到20%.

关键词：金刚石薄膜、氧化锌薄膜、异质结、化学气相沉积、磁控溅射

所属期刊栏目：32

分类号：TN304.18(半导体技术)

资助基金：国家自然科学基金69576012

在线出版日期：2004-05-28（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：230-232,238