氟化钙晶体的生长和应用研究

摘要：

CaF2晶体作为一种传统晶体材料, 应用十分广泛.文中综合介绍了CaF2晶体在深紫外光刻机的光学元件、激光晶体和被动Q开关三个领域的应用现状及趋势, 归总了CaF2晶体具有的优异性能, 阐述了CaF2晶体与深紫外准分子激光之间的作用, 晶体结构对激光性能的影响, 晶体生长和加工等诸多方面的研究进展.

关键词：氟化钙、晶体生长、准分子激光光刻、激光晶体、Q开关

所属期刊栏目：31

分类号：O-78

在线出版日期：2004-02-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1202-1207