碳化硅光学镜面加工

摘要：

简要介绍了碳化硅光学镜面的主要应用领域;碳化硅材料的主要物理特性和几种常用的制备方法;比较了碳化硅材料与其他常用光学镜面介质材料的主要物理性质.介绍了碳化硅光学镜面的光学加工的流程和加工手段;比较分析了碳化硅光学镜面的光学加工过程各个步骤中所应用的磨具、磨料和加工方法.讨论了光学加工过程中各个步骤工艺参数的选择和降低碳化硅光学镜面表面粗糙度的途径.最后,简介了美国、俄罗斯和我国在碳化硅反射镜的光学加工方面所取得的成果.

关键词：碳化硅、光学镜面、光学加工、面形精度、粗糙度

所属期刊栏目：31

分类号：O786(晶体生长)

资助基金：国家自然科学基金69925512

在线出版日期：2003-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1096-1100