喷雾热解法制备SnO2:Sb透明导电薄膜

摘要：

采用喷雾热解技术制备出了光电性能优良的SnO2:Sb透明导电薄膜,对薄膜的结构特性、光电性质以及制备条件对薄膜性能的影响进行了研究.并进一步研究了喷雾热解法中薄膜的形成过程和工艺参数对薄膜微观结构和性能的影响.实验结果表明:在Sb掺杂量为11%(摩尔分数)和基板温度为500℃的条件下,SnO2:Sb薄膜具有最佳的光电性能,平均可见光透过率为82%,方块电阻达13.4 Ω/□,电阻率为4.9×10-4Ω@cm.

关键词：透明导电薄膜、掺锑二氧化锡、喷雾热解、光电性能

所属期刊栏目：31

分类号：TQ174

资助基金：国家高技术研究发展计划863计划2001AA320202

在线出版日期：2003-12-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1063-1068