溶胶凝胶法制备声表面波器件用Li∶ZnO薄膜

摘要：

用溶胶-凝胶法在玻璃载玻片上制备Li∶ZnO薄膜, 涂膜采用旋涂法.薄膜通过二次涂膜而形成.用X射线衍射、原子力显微镜、扫描电镜和电阻仪表征和测量了薄膜的特性和性能.实验结果表明: 通过改变每层涂膜热处理的温度, 可使Li∶ZnO薄膜具有更好的c轴择优取向性、平整均匀、颗粒细小和高的薄膜电阻率(≈107Ω*cm), 这些性能可满足声表面波器件的使用要求.薄膜形成时每层采用不同成膜热处理温度可使薄膜有较好性能, 主要是由于这种工艺能获得优化的薄膜微观结构.

关键词：锂/氧化锌薄膜、溶胶-凝胶、c轴取向、声表面波器件

所属期刊栏目：31

分类号：TQ427

资助基金：国家重点实验室基金教科司1999153号;国家自然科学基金50072023

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：552-555,559