以无机盐为原料溶胶-凝胶工艺制备LaAlO3薄膜

摘要：

以无机盐为原料,利用溶胶-凝胶工艺在硅衬底上制备了LaAlO3薄膜.La(NO3)3.6H2O和Al(NO3)3.6H2O的冰醋酸溶液通过试剂交换形成金属醋酸盐的冰醋酸溶液,乙酸酐(CH3CO)2O能除尽硝酸根和结晶水,乙酰丙酮(AcAc)部分取代醋酸盐分子中的醋酸根形成的M(OAc)3-x(AcAc)x其部分水解形成M(AcAc)3-x(OH)r.而M(AcAc)3-x(OH)x聚合并与甲纤维素(MCL)形成线状结构使LaAlO3溶胶易于成膜,凝胶LaAlO3薄膜经过650～750℃,30min退火形成立方钙钛矿结构.薄膜的折射率为1.74～1.95,介电常数为23～26,介电损耗(tanδ)在2.1 x10-4～2.4×10-4之间.

关键词：铝酸镧薄膜、溶胶-凝胶工艺

所属期刊栏目：31

分类号：TM215(电工材料)

资助基金：国家重点基础研究发展计划973计划2002CB613305

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：296-299