等离子喷涂碳化硼涂层热冲击性能研究

摘要：

研究了等离子喷涂碳化硼涂层在不同能量密度的激光辐照下的耐热冲击与热蚀行为.结果表明:碳化硼涂层有较好的抗激光辐照熔融能力和耐热冲击性能.气孔率是影响碳化硼涂层抗热冲击能力的重要因素.在相同实验条件下,较低气孔率的涂层具有较大的热导系数和耐热冲击能力.

关键词：等离子喷涂、碳化硼涂层、热冲击、气孔率

所属期刊栏目：27

分类号：TN304(半导体技术)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：545-550