流延成膜技术制备高性能多层片式压电陶瓷微驱动器研究

摘要：

采用压电陶瓷流延厚膜成型技术以及厚膜与金属内电极共烧技术制备了逆压电效应下工作的多层片式压电陶瓷微位移驱动器.该器件具有工作电压低、功耗小、响应快、器件尺寸微小型化等特点,适合于微电子及微型机械应用.本课题对该器件与应用密切相关的位移-电压关系及位移蠕变性能、驱动力和使用寿命等性能进行测试和研究.

关键词：流延技术、多层片式结构、压电陶瓷微位移驱动器、器件性能

所属期刊栏目：27

分类号：TQ174

资助基金：上海市科委资助项目95JC1406;上海市青年科技启明星计划96QE14030

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：533-539